Lam Research nedávno představil svůj Dextro, první kolaborativní robot na světě určený pro údržbu zařízení pro výrobu polovodičů, a uvedl, že robota používá mnoho předních světových továren.
Dextro cobot je mobilní jednotka robotického ramene umístěná na vozíku a řízená výrobním technikem nebo inženýrem, aby provedla tři klíčové úkoly údržby zařízení s pomocí různých „ručních nástrojů“:
2x přesnější než lidská ruka při instalaci a stlačování spotřebního materiálu;
Přesné utahování vysoce přesných vakuově utěsněných šroubů s až 5% chybovostí, když lidští zaměstnanci provádějí tento opakovaný úkol ručně;
Jakékoli nahromaděné polymery na bočních stěnách komory lze automaticky odstranit bez demontáže spodní komory, což byl úkol, který dříve vyžadoval vysoce výkonné dýchací ochranné prostředky.
To znamená, že Dextro může pomoci konstruktérům továren zbavit se často časově náročných, chybám nebo nebezpečných úkolů údržby, zlepšit celkovou přesnost procesu, snížit požadavky na pracovní sílu, snížit plýtvání, snížit prostoje a v konečném důsledku zvýšit výtěžnost továrny.
Lam říká, že jeden kobot Dextro může obsloužit 50 až 100 nástrojových komor Lam a je v současné době k dispozici pro podporu jeho řady dielektrických leptacích nástrojů Flex G/H s rozšířením na další nástroje a aplikace od roku 2025.
Kim Young Ju, viceprezident a vedoucí týmu technologie Memory Etching společnosti Samsung Electronics, řekl:
Když výrobní zařízení vyžaduje údržbu, je nezbytné, aby byla práce provedena rychle a efektivně, aby se předešlo prodlouženým prostojům nástrojů a plýtvání náklady.
Bezchybná údržba společnosti Dextro pomáhá zlepšovat variabilitu výroby a výnos. Pro Samsung je to vzrušující milník směrem k vlastní továrně.